유리 기판 표면 결함 검출기
애플리케이션
글래스 기판 제작의 프로세스 컨트롤과 산출 관리를 위해, 우리는 그렇게 하기 위해 제조사들을 도울 수 있습니다
마스크 결함을 확인하고 모니터링하고, 생산량의 더 리스크를 즐이고 R&D의 그들의 독립적 능력을 향상시킵니다를 위해
핵심 기술.
작업 원칙
지향성인 것 수집하고 분석하기 위해 특정한 각도 환형 광원, 동축 광원과 운영 메커니즘을 이용하기
그러므로 유리 기판 표면에 결점을 위한 오토마티카 검출을 실현한 포토그래피 정보.
특징
| 모델 | SDD-GS-X-X | |
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성능 탐지 |
발견 가능 결함 타입 | 스크래치, 재 |
| 발견 가능 결함 사이즈 | 1μm | |
| (측정된) 검출 정확도 |
결점 / 수집의 100% 탐지의 결점 (스크래치, 재) |
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| 검파 효율 |
≤10 분 (측정치 : 350 밀리미터 Ｘ 300 밀리미터는 감춥니다) |
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광 시스템 성능 |
결의안 | 1.8μm |
| 확대 | 40x | |
| 시계 | 0.5 밀리미터 Ｘ 0.5 밀리미터 | |
| 푸른 빛 조명 | 460nm, 2.5w | |
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모션 승강대 성능
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Ｙ 2축 이동인 Ｘ 대리석 재질 주방용 조리대 평탄성 : 2.5μm Y-축 Z-방향 소모 정확성 : ≤ 10.5μm Y-축 Z-방향 소모 정확성 : ≤8.5μm |
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| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | ||
검출 이미지
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