디스플레이 패널 표면 결함 검출기
애플리케이션
디스플레이 패널 제조의 공정 제어 및 수율 관리를 위해 제조업체가 다음을 수행하도록 도울 수 있습니다.
마스크 결함을 식별 및 모니터링하고 수율 위험을 줄이며 독립적인 R&D 능력을 향상시킵니다.
핵심 기술.
작동 원리
4x 텔레센트릭 렌즈, 특정 각도 링 조명 및 동축 광원이 시각적 접근 방식으로 선택되었습니다.
마스크 표면의 결함을 자동으로 감지하기 위해 결함 위치를 자동으로 찾습니다.
특징
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모델 |
SDD-DP-X—X | |
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성능 감지 |
감지 가능한 결함 유형 | 긁힘, 먼지 |
| 감지 가능한 결함 크기 | 1μm | |
| 감지 정확도(측정) |
불량 100% 탐지 / 회수 결함(흠집, 먼지) |
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| 감지 효율 |
≤10분 ( 측정값 : 350mm x 300mm 마스크) |
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광학 시스템 성능 |
해결 | 1.8μm |
| 확대 | 40배 | |
| 시야 | 0.5mm x 0.5mm | |
| 블루 라이트 조명 | 460nm, 2.5w | |
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모션 플랫폼 성능
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X, Y 2축 모션 대리석 조리대 평탄도: 2.5μm Y축 Z방향 런아웃 정밀도: ≤ 10.5μm Y축 Z방향 런아웃 정밀도: ≤8.5μm |
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| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | ||
감지 이미지
우리의 장점
우리는 제조업체입니다.
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우리의 ISO 인증
우리 특허의 일부
수상 내역 및 R&D 자격
우리의 제품은 전 세계적으로 판매됩니다. 당신은 우리 제품의 전체 과정을 안심할 수 있습니다.
