블랭크 마스크 기판 표면 결함 검출기
애플리케이션
비어 있는 마스크 기판 제작의 프로세스 컨트롤과 산출 관리를 위해, 우리는 제조사들을 도울 수 있습니다
마스크 결함을 확인하고 모니터링하고, 생산량의 더 리스크를 즐이고 R&D의 그들의 독립적 능력을 향상시키고를 위해
핵심 기술.
작업 원칙
비어 있는 마스크 표면 위의 결점은 시각 정보 취득을 기반으로 자동적으로 발견될 수 있습니다,
기본적 논리 알고리즘과 실제 필요.
특징
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모델 |
SDD-BM-X-X | |
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성능 탐지 |
발견 가능 결함 타입 | 스크래치, 재 |
| 발견 가능 결함 사이즈 | 1μm | |
| (측정된) 검출 정확도 |
결점 / 수집의 100% 탐지의 결점 (스크래치, 재) |
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| 검파 효율 |
≤10 분 (측정치 : 350 밀리미터 Ｘ 300 밀리미터는 감춥니다) |
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광 시스템 성능 |
결의안 | 1.8μm |
| 확대 | 40x | |
| 시계 | 0.5 밀리미터 Ｘ 0.5 밀리미터 | |
| 푸른 빛 조명 | 460nm, 2.5w | |
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모션 승강대 성능
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Ｙ 2축 이동인 Ｘ 대리석 재질 주방용 조리대 평탄성 : 2.5μm Y-축 Z-방향 소모 정확성 : ≤ 10.5μm Y-축 Z-방향 소모 정확성 : ≤8.5μm |
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| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | ||
검출 이미지
우리의 장점
우리는 제조사입니다.
성숙한 절차.
24 업무 시간 이내에 응답하세요.
우리의 ISO 인증
우리의 특허의 부분
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우리의 제품은 전 세계적으로 판매됩니다. 당신은 우리 제품의 전체 과정을 안심할 수 있습니다.
