집적 회로 칩 산업의 표면 결함 검출기
애플리케이션
집적회로 칩 제조 분야에서 블랭크 마스크의 공정 제어 및 수율 관리를 위해,
우리는 유리 기판 및 마스크 제조업체가 마스크 결함을 식별 및 모니터링하고 위험을 줄이는 데 도움을 줄 수 있습니다.
핵심 기술에 대한 R&D의 독립적인 능력을 양보하고 향상시킵니다.
작동 원리
마스크 표면의 결함은 광학 시스템 성능,
카메라 성능과 모션 플랫폼 성능.
특징
| 모델 | SDD-ICC-X-X | |
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성능 감지 |
감지 가능한 결함 유형 | 긁힘, 먼지 |
| 감지 가능한 결함 크기 | 1μm | |
| 감지 정확도(측정됨) |
불량 100% 탐지 / 회수 결함(스크래치, 먼지) |
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| 감지 효율 |
≤10분 ( 측정값 : 350mm x 300mm 마스크) |
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광학 시스템 성능 |
해결 | 1.8μm |
| 확대 | 40배 | |
| 시야 | 0.5mm x 0.5mm | |
| 블루 라이트 조명 | 460nm, 2.5w | |
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모션 플랫폼 성능
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X, Y 2축 모션 대리석 조리대 평탄도: 2.5μm Y축 Z방향 런아웃 정밀도: ≤ 10.5μm Y축 Z방향 런아웃 정밀도: ≤8.5μm |
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| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | ||
감지 이미지
우리의 장점
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