기능성 필름 분야에서의 마그네트론 스퍼터링 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특수한 목적 | 재료 유형 |
| 기능성 필름 | 초경질 필름 | 주석, TiC |
|
차광 필름 |
Cr, AlSi, AlTi 등 | |
| 저항막 | NiCrSi, CrSi, MoTa 등 | |
| 초전도 필름 | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| 자기 필름 | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi 등 |
작동 원리
작동 원리와 적용 대상이 다른 많은 종류의 마그네트론 스퍼터링이 있습니다.하지만 거기
한 가지 공통점은 다음 사이의 상호 작용을 통해 전자가 대상 표면 근처의 나선형 경로를 따라 이동하게 한다는 것입니다.
자기장과 전기장, 따라서 아르곤을 때리는 전자에서 발생하는 이온 생성 확률이 증가합니다.
생성된 이온은 전기장의 영향으로 타겟 표면에 충돌하여 타겟 재료를 스퍼터링합니다.
특징
| 모델 | MSC-FF-X-X |
| 코팅 유형 | 금속막, 금속산화물, AIN 등 각종 유전체막 |
| 코팅 온도 범위 | 상온~500℃ |
| 코팅 진공 챔버 크기 | 700mm*750mm*700mm (맞춤형) |
| 배경 진공 | < 5×10-7엠바 |
| 코팅 두께 | ≥ 10nm |
| 두께 제어 정밀도 | ≤ ±3% |
| 최대 코팅 크기 | ≥ 100mm(맞춤형) |
| 필름 두께 균일성 | ≤ ±0.5% |
| 기판 캐리어 | 유성 회전 메커니즘 |
| 대상 물질 | 4×4인치(4인치 이하 호환) |
| 전원 | DC, 펄스, RF, IF 및 바이어스와 같은 전원 공급 장치는 옵션입니다. |
| 공정 가스 | 아르곤, N2, 오2 |
| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | |
코팅 샘플
프로세스 단계
→ 코팅할 기판을 진공 챔버에 넣습니다.
→ 대충 진공 청소기로 청소합니다.
→ 분자 펌프를 켜고 진공최고 속도로 회전 및 회전을 켭니다.
→ 온도가 도달할 때까지 진공 챔버를 가열표적;
→ 일정한 온도 제어를 구현합니다.
→ 깨끗한 요소;
→ 회전하여 원점으로 돌아갑니다.
→ 공정 요구 사항에 따른 코팅 필름;
→ 코팅 후 온도를 낮추고 펌프 어셈블리를 멈춥니다.
→ 다음과 같은 경우 작업 중지자동운전이 끝났습니다.
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