광학 산업에서 마그네트론 스퍼터링 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특정 목적 | 소재 유형 |
| 광학 |
반반사 필름과 같은 광학 막, |
SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
| 저방사 글라스 |
금속 (은, 구리, 주석, 기타 등등.)의 다층 |
|
| 투명한 전도성 유리 | 아연산화물 :Al, 기타 등등 |
작업 원칙
자전관 스퍼터링의 특징은 높은 막 형성 률, 저기판 온도, 좋은 영화 접착입니다
그리고 실현할 수 있는 큰 영역 코팅. 이 기술은 DC 마그네트론 스퍼터링과 RF 마그네트론으로 분할될 수 있습니다
스퍼터링.
특징
| 모델 | MSC-O-X-X |
| 코팅형 | 금속막, 금속 산화물과 아인과 같은 다양한 유전막 |
| 코팅 온도 범위 | 500C에 대한 정상 온도 |
| 진공 챔버 사이즈를 코팅하기 | (주문형인) 700mm*750mm*700mm |
| 배경 진공 | < 5="">-7mbar |
| 코팅 두께 | ≥ 10nm |
| 두께 조종 정확성 | ≤ ±3% |
| 최대 코팅 사이즈 | ≥ 100 밀리미터 (커스텀기즈러블) |
| 막 두께 균일성 | ≤ ±0.5% |
| 기판 캐리어 | 행성 회전 메카니즘으로 |
| 목적 물질 | 4×4 인치 (4 인치로와 아래 적합한) |
| 전원 공급기 | DC, 펄스, RF, 조건과 같은 전원 공급기와 선입견은 선택적입니다 |
| 공정 가스 | Ar, N2, O2 |
| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | |
코팅 샘플
처리 과정
→는 진공 챔버 안으로 코팅하기 위한 기판을 위치시킵니다 ;
→는 높고 낮온도에 진공 챔버를 바커우마이즈와, 동시에 기판을 회전시킵니다 ;
→ 시작 코팅 : 기판은 순서에서 그리고 동시 반응 없이 예고와 접촉됩니다 ;
→는 각각 반응 뒤에 고청정도 질소 가스로 그것을 정화합니다 ;
→ 막두께 뒤에 기판을 회전시키는 정지는 표준에 달려있고 세정과 냉각의 작동이 있습니다
완성했고 그리고 나서 진공 쇄파 조건이 충족되는 후에 기판을 포장해 갑니다.
우리의 장점
우리는 제조사입니다.
성숙한 절차.
24 업무 시간 이내에 응답하세요.
우리의 ISO 인증
우리의 특허의 부분
우리의 상의 부분과 R&D의 자격들
우리의 제품은 전 세계적으로 판매됩니다. 당신은 우리 제품의 전체 과정을 안심할 수 있습니다.
