장식적인 코팅 분야에서 마그네트론 스퍼터링 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특정 목적 | 소재 유형 |
| 장식적인 코팅 | 착색 막, 증착 필름 | Al2O3과 TiO2와 모든 종류의 금속막 |
작업 원칙
자전관 스퍼터링은 타겟 표면에 자기장을 도입하고 사용함으로써 스퍼터링 속도를 높이는 것입니다
플라즈마 밀도를 증가시키기 위해 하전 입자를 강요하기 위한 자기장.
특징
| 모델 | MSC-DC-X-X |
| 코팅형 | 금속막, 금속 산화물과 아인과 같은 다양한 유전막 |
| 코팅 온도 범위 | 500C에 대한 정상 온도 |
| 진공 챔버 사이즈를 코팅하기 | (주문형인) 700mm*750mm*700mm |
| 배경 진공 | < 5="">-7mbar |
| 코팅 두께 | ≥ 10nm |
| 두께 조종 정확성 | ≤ ±3% |
| 최대 코팅 사이즈 | ≥ 100 밀리미터 (커스텀기즈러블) |
| 막 두께 균일성 | ≤ ±0.5% |
| 기판 캐리어 | 행성 회전 메카니즘으로 |
| 목적 물질 | 4×4 인치 (4 인치로와 아래 적합한) |
| 전원 공급기 | DC, 펄스, RF, 조건과 같은 전원 공급기와 선입견은 선택적입니다 |
| 공정 가스 | Ar, N2, O2 |
| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | |
코팅 샘플
처리 과정
→Place 진공으로의 코팅을 위한 기판이 챔버에 수용합니다 ;
→는 대략 바커우마이즈 ;
→ 턴온 분자 펌프가 전속력으로 바커우마이즈 혁명과 회전을 켭니다 ;
→ 온도까지 진공 챔버 난방은 목표에 도달합니다 ;
→는 끊임없이 계속되는 온도 제어를 구현합니다 ;
→ 깨끗한 요소 ;
→는 근원에게 회전시키고 돌아갑니다 ;
프로세스 요구 사항에 따른 → 도포막 ;
→는 코팅 뒤에 온도를 낮추고, 펌프 조립품을 막습니다 ;
자동 조작이 완성될 때 일하는 → 정지.
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