항변색성 코팅 분야에서 마그네트론 스퍼터링 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특정 목적 | 소재 유형 |
| 항변색성 코팅 | 귀금속 항산화 코팅 | Al2O3, TiO2 |
작업 원칙
끊임없이 그렇게 하기 위해 수많은 아르곤 이온을 이온화시키면서, 전자는 모션 프로세스에서 아르곤 원자와 부딪칩니다
목표를 폭격하세요. 뭇겹충돌 뒤에, 전자의 에너지는 점진적으로 감소합니다.전자는 부숴버립니다
자력선의 제한으로부터 목표물로부터 가까이 못하게 하고, 마침내 기판에 침적되세요.
특징
| 모델 | MSC-ADC-X-X |
| 코팅형 | 금속막, 금속 산화물과 아인과 같은 다양한 유전막 |
| 코팅 온도 범위 | 500C에 대한 정상 온도 |
| 진공 챔버 사이즈를 코팅하기 | (주문형인) 700mm*750mm*700mm |
| 배경 진공 | < 5="">-7mbar |
| 코팅 두께 | ≥ 10nm |
| 두께 조종 정확성 | ≤ ±3% |
| 최대 코팅 사이즈 | ≥ 100 밀리미터 (커스텀기즈러블) |
| 막 두께 균일성 | ≤ ±0.5% |
| 기판 캐리어 | 행성 회전 메카니즘으로 |
| 목적 물질 | 4×4 인치 (4 인치로와 아래 적합한) |
| 전원 공급기 | DC, 펄스, RF, 조건과 같은 전원 공급기와 선입견은 선택적입니다 |
| 공정 가스 | Ar, N2, O2 |
| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | |
코팅 샘플
처리 과정
→는 진공 챔버 안으로 코팅하기 위한 기판을 위치시킵니다 ;
→는 대략 바커우마이즈 ;
→ 턴온 분자 펌프가 전속력으로 바커우마이즈 혁명과 회전을 켭니다 ;
→ 온도까지 진공 챔버 난방은 목표에 도달합니다 ;
→는 끊임없이 계속되는 온도 제어를 구현합니다 ;
→ 깨끗한 요소 ;
→는 근원에게 회전시키고 돌아갑니다 ;
프로세스 요구 사항에 따른 → 도포막 ;
→는 코팅 뒤에 온도를 낮추고, 펌프 조립품을 막습니다 ;
자동 조작이 완성될 때 일하는 → 정지.
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