의료 산업에서의 마그네트론 스퍼터링 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특수한 목적 | 재료 유형 |
| 치료 | 생체적합성 재료 | 알2영형삼, TiO2 |
작동 원리
마그네트론 스퍼터링의 기본 원리는 전자가 날아가는 과정에서 아르곤 원자와 충돌하는 것입니다.
그만큼전기장의 작용하에 기판, 생성된 아르곤 이온이 표적 표면에 충돌합니다.에너지 후
교환,대상 표면의 원자는 원래 격자에서 벗어납니다.기판으로 이송됩니다.
필름을 형성하는 표면.
특징
| 모델 | MSC-MT-X-X |
| 코팅 유형 | 금속막, 금속산화물, AIN 등 각종 유전체막 |
| 코팅 온도 범위 | 상온~500℃ |
| 코팅 진공챔버 시제 | 700mm * 750mm * 700mm (맞춤형) |
| 배경 진공 | < 5×10-7엠바 |
| 코팅 두께 | ≥ 10nm |
| 두께 제어 정밀도 | ≤ ±3% |
| 최대 코팅 크기 | ≥ 100mm(맞춤형) |
| 필름 두께 균일성 | ≤ ±0.5% |
| 기판 캐리어 | 유성 회전 메커니즘 |
| 대상 물질 | 4×4인치(4인치 이하 호환) |
| 전원 | DC, 펄스, RF, IF 및 바이어스와 같은 전원 공급 장치는 옵션입니다. |
| 공정 가스 | 아르곤, N2, 오2 |
| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | |
코팅 샘플
프로세스 단계
→ 코팅할 기판을 진공 챔버에 넣습니다.
→ 대충 진공 청소기로 청소합니다.
→ 분자 펌프를 켜고 최고 속도로 진공화한 다음 회전 및 회전을 켭니다.
→ 온도가 목표에 도달할 때까지 진공 챔버를 가열합니다.
→ 일정한 온도 제어를 구현합니다.
→ 깨끗한 요소;
→ 회전하여 원점으로 돌아갑니다.
→ 공정 요구 사항에 따른 코팅 필름;
→ 코팅 후 온도를 낮추고 펌프 어셈블리를 멈춥니다.
→ 자동 운전이 끝나면 작동을 멈춥니다.
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