페로브스카이트 박막 배터리 산업에서의 마그네트론 스퍼터링 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특수한 목적 | 재료 유형 |
| 페로브스카이트 박막 배터리 | 투명한 전도층 | ZnO:Al |
작동 원리
마그네트론 스퍼터링은 자기장에 의해 전자의 운동 경로를 제한하고 확장하여 운동을 변화시키는 것입니다.
전자의 방향, 작동 가스의 이온화 속도를 높이고 전자의 에너지를 효과적으로 사용합니다.
마그네트론 스퍼터링은 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다: 빠른 증착 속도, 높은 증착 효율,
산업 생산에 대규모 적용;낮은 기판 온도, 플라스틱 코팅에 적합
기타 내열성 기재;준비된 필름의 고순도, 우수한 치밀성, 우수한 필름 균일성 및 강한
필름-기판 응집력;금속, 합금, 산화물 및 기타 필름을 준비할 수 있습니다.무공해.
특징
| 모델 | MSC-PFB-X-X |
| 코팅 유형 | 금속막, 금속산화물, AIN 등 각종 유전체막 |
| 코팅 온도 범위 | 상온~500℃ |
| 코팅 진공 챔버 크기 | 700mm*750mm*700mm (맞춤형) |
| 배경 진공 | < 5×10-7엠바 |
| 코팅 두께 | ≥ 10nm |
| 두께 제어 정밀도 |
≤ ±3% |
| 최대 코팅 크기 | ≥ 100mm(맞춤형) |
| 필름 두께 균일성 | ≤ ±0.5% |
| 기판 캐리어 | 유성 회전 메커니즘 |
| 대상 물질 | 4×4인치(4인치 이하 호환) |
| 전원 | DC, 펄스, RF, IF 및 바이어스와 같은 전원 공급 장치는 옵션입니다. |
| 공정 가스 |
아르곤, N2, 오2 |
| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | |
코팅 샘플
프로세스 단계
→ 코팅할 기판을 진공 챔버에 넣습니다.
→ 대충 진공 청소기로 청소합니다.
→ 분자 펌프를 켜고 최고 속도로 진공화한 다음 회전 및 회전을 켭니다.
→ 온도가 목표에 도달할 때까지 진공 챔버를 가열합니다.
→ 일정한 온도 제어를 구현합니다.
→ 깨끗한 요소;
→ 회전하여 원점으로 돌아갑니다.
→ 공정 요구 사항에 따른 코팅 필름;
→ 코팅 후 온도를 낮추고 펌프 어셈블리를 멈춥니다.
→ 자동운전이 끝나면 작업을 멈춥니다.
우리의 장점
우리는 제조업체입니다.
성숙한 과정.
근무 시간 24시간 이내에 회신하십시오.
우리의 ISO 인증
우리 특허의 일부
수상 내역 및 R&D 자격
우리의 제품은 전 세계적으로 판매됩니다. 당신은 우리 제품의 전체 과정을 안심할 수 있습니다.
