나노 구조 및 패턴 산업에서의 원자층 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특수한 목적 |
| 나노구조 및 패턴 |
템플릿 지원 나노구조 |
| 촉매 보조 나노구조 | |
| 나노패턴 준비를 위한 위치 선택적 ALD |
작동 원리
원자층 증착법은 기상의 전구체를 교대로 펄스화하여 막을 형성하는 방법이다.
반응 챔버로 이동하여 증착된 기판에 기체-고체상 화학흡착 반응 생성
표면.전구체가증착된 기판의 표면에 도달하면 화학적으로 흡착됩니다.
표면과 표면 반응을 생성합니다.
특징
| 모델 | ALD-NP-X-X |
| 코팅 필름 시스템 | 알2영형삼,TiO2,ZnO 등 |
| 코팅 온도 범위 | 상온 ~ 500℃ (Customizable) |
| 코팅 진공 챔버 크기 |
내경: 1200mm, 높이: 500mm(맞춤형) |
| 진공 챔버 구조 | 고객의 요구 사항에 따라 |
| 배경 진공 | <5×10-7엠바 |
| 코팅 두께 | ≥0.15nm |
| 두께 제어 정밀도 | ±0.1nm |
| 코팅 크기 | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200mm² 등 |
| 필름 두께 균일성 | ≤±0.5% |
| 전구체 및 캐리어 가스 |
트리메틸알루미늄, 사염화티탄, 디에틸아연, 순수, |
| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | |
코팅 샘플
프로세스 단계
→ 코팅할 기판을 진공 챔버에 넣습니다.
→ 고온 및 저온에서 진공 챔버를 진공화하고 동시에 기판을 회전시킵니다.
→ 코팅 시작: 기판이 순차적으로 동시 반응 없이 전구체와 접촉합니다.
→ 각 반응 후 고순도 질소가스로 퍼지한다.
→ 피막두께가 기준치에 도달하고 퍼징 및 냉각작업이 끝나면 기판 회전을 멈춘다.
진공 파괴 조건이 충족되면 기판을 꺼냅니다.
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