에너지 산업에서 원자층 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특정 목적 |
| 에너지 | 결정질 실리콘 태양 전지 : 보호막 / 버퍼 층 / 투명 전극 |
| 염료 민감화된 셀 : 광전양극 / 전하 재결합 장벽층 | |
| 연료 전지 : 수소 이온 교환막 / 음극 / 전해액 / 촉매제 | |
| 리튬 이온 전지 : 나노구조 음극 / 음극 / 전극 수정된 코팅 | |
열전 반도체 재료 | |
| 전극 재료 보호층 |
작업 원칙
원자층 증착의 과정의 4 단계가 있습니다 :
1. 기판 표면과 흡착 반응을 가지기 위해 제1 프리커서 가스를 기판에 주입하세요.
2. 불활성 가스로 남아있는 가스를 분출시키세요.
3. 제1 프리커서 가스가 기판에 흡수된 채로 화학 반응을 가지기 위해 두번째 전구체 가스를 도입하세요
서페이스토 형식 영화.
4. 저쪽으로 초과한 가스를 분출시키기 위해 다시 불활성 가스를 도입하세요.
특징
| 모델 | ALD-E-X-X |
| 도포막 시스템 | AL2O3, TiO2, 아연산화물, 기타 등등 |
| 코팅 온도 범위 | 500C (커스텀기즈러블)에 대한 정상 온도 |
| 진공 챔버 사이즈를 코팅하기 | 내경 : 1200 밀리미터, 높이 : 500 밀리미터 (커스텀기즈러블) |
| 진공 챔버 구조 | 고객의 요구조건에 따르면 |
| 배경 진공 | <5>-7mbar |
| 코팅 두께 | ≥0.15nm |
| 두께 조종 정확성 | ±0.1nm |
| 코팅 사이즈 | 200×200mm2 / 400×400mm2 / 1200×1200 mm2, 기타 등등 |
| 막 두께 균일성 | ≤±0.5% |
| 예고와 캐리어 가스 | 트리메틸알루미늄, 사염화 티타늄, 디에틸 징크, 정제수, |
| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | |
코팅 샘플
처리 과정
→는 진공 챔버 안으로 코팅하기 위한 기판을 위치시킵니다 ;
→는 높고 낮온도에 진공 챔버를 바커우마이즈와, 동시에 기판을 회전시킵니다 ;
→ 시작 코팅 : 기판은 순서에서 그리고 동시 반응 없이 예고와 접촉됩니다 ;
→는 각각 반응 뒤에 고청정도 질소 가스로 그것을 정화합니다 ;
→ 막두께 뒤에 기판을 회전시키는 정지는 표준에 달려있고 세정과 냉각의 작동이 있습니다
완성했고 그리고 나서 진공 쇄파 조건이 충족되는 후에 기판을 포장해 갑니다.
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