센서 산업의 원자층 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특수한 목적 |
|
감지기 |
가스 센서 |
| 습도 센서 | |
| 바이오센서 |
작동 원리
기본 원자층 증착 주기는 네 단계로 구성됩니다.
1. 첫 번째 전구체는 기판 표면으로 안내되고 화학 흡착 공정은 자동으로
끝내다표면이 포화되었을 때;
2. 불활성 기체인 Ar 또는 N2 및 부산물, 과잉의 제1 전구체를 씻어내다;
3. 기판 표면에 화학 흡착된 제1 전구체와 제2 전구체가 주입되어 반응하여
~을 형성하다원하는 영화.에 흡착된 제1 전구체가 반응할 때까지 반응 과정을 종료한다.
기판 표면완성 됐습니다.두 번째 전구체가 주입되고 과잉 전구체가 플러시됩니다.
떨어져 있는;
4. Ar 또는 N2와 같은 불활성 가스 및 부산물.
이 반응 과정을 주기라고 합니다. 첫 번째 전구체 주입 및 세척,
초전구 물질.1주기 소요시간은 1차전구체와 2차전구체 주입시간의 합이다.
플러스 둘플러싱 시간.따라서 총 반응 시간은 사이클 수에 사이클 시간을 곱한 값입니다.
특징
| 모델 | ALD-SEN-X-X |
| 코팅 필름 시스템 | 알2영형삼,TiO2,ZnO 등 |
| 코팅 온도 범위 | 상온 ~ 500℃ (Customizable) |
| 코팅 진공 챔버 크기 |
내경: 1200mm, 높이: 500mm(맞춤형) |
| 진공 챔버 구조 | 고객의 요구 사항에 따라 |
| 배경 진공 | <5×10-7엠바 |
| 코팅 두께 | ≥0.15nm |
| 두께 제어 정밀도 | ±0.1nm |
| 코팅 크기 | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200mm² 등 |
| 필름 두께 균일성 | ≤±0.5% |
| 전구체 및 캐리어 가스 |
트리메틸알루미늄, 사염화티탄, 디에틸아연,순수한 물, |
| 참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. | |
코팅 샘플
프로세스 단계
→ 코팅할 기판을 진공 챔버에 넣습니다.
→ 고온 및 저온에서 진공 챔버를 진공화하고 동시에 기판을 회전시킵니다.
→ 코팅 시작: 기판이 순차적으로 동시 반응 없이 전구체와 접촉합니다.
→ 각 반응 후 고순도 질소가스로 퍼지한다.
→ 도막두께가 기준치에 도달한 후 기판 회전을 멈추고 퍼지 및 냉각 i에스
진공 파괴 조건이 충족되면 기판을 꺼냅니다.
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