알드 원자층 증착
애플리케이션
| 애플리케이션 | 특정 목적 | 알드 소재 유형 |
| MEMS 디바이스 | 식각 장벽층 | Al2O3 |
| 보호층 | Al2O3 | |
| 반결합성 레이어 | TiO2 | |
| 친수성 막 | Al2O3 | |
| 결합층 | Al2O3 | |
| 내마모층 | Al2O3, TiO2 | |
| 반 쇼트 회로 막 | Al2O3 | |
| 전하 소산층 | 아연산화물 : Al | |
| 전자 발광 표시 | 발광층 | 황아연 : Mn / Er |
| 보호막 | Al2O3 | |
| 저장 물질 | 강유전체 재료 | HfO2 |
| 상자성체 재료 | Gd2O3, Er2O3, Dy2O3, Ho2O3 | |
| 비자성 결합 | Ru, 적외선 | |
| 전극 | 귀금속 | |
| 유도성 결합 (ICP) | 고유전율 게이트 유전체층 | HfO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2 |
| 결정질 실리콘 태양 전지 | 표면 보호 | Al2O3 |
| 페로브스카이트 박막 필름 배터리 | 버퍼 층 | 즈킨스머니오 |
| 투명도전막 | 아연산화물 : Al | |
| 3D 패키징 | 철저한 실리콘 바이아스 (TSVs) | Cu, Ru, 주석 |
| 빛을 내는 애플리케이션 | OLED 보호막 | Al2O3 |
| 센서 | 보호막, 충진재 | Al2O3, SiO2 |
| 의학적 치료 | 생체적합성 재료 | Al2O3, TiO2 |
| 부식 보호층 | 표면 부식 보호층 | Al2O3 |
| 연료 전지 | 촉매제 | Pt, 중양자를 포함하는 계의 pH에 상당하는술어, Rh |
| 리튬 배터리 | 전극 재료 보호층 | Al2O3 |
| 단단한 디스크 판독 / 쓰기 헤드 | 보호막 | Al2O3 |
| 장식적인 코팅 | 착색 막, 증착 필름 | Al2O3, TiO2 |
| 항변색성 코팅 | 귀금속 항산화 코팅 | Al2O3, TiO2 |
| 광학 막 | 하이 로 굴절률 |
MgF2, SiO2, 황아연, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
작업 원칙
원자층 증착 (알드)은 기판의 표면적으로 물질을 더에 맡기는 방법입니다
한 개의 원자 영화 레이어 바이 레이어의 형식. 원자층 증착은 일반 화학 제품 기탁과 유사합니다,
그러나 원자층 증착의 과정에서, 원자 영화의 새로운 층의 화학 반응은 직접적으로 있습니다
단지 한 원자층이 이 방법에 의해 각각 반응에 침적되도록, 이전 층과 관련됩니다.
특징
| 모델 | ALD1200-500 |
| 도포막 시스템 | AL2O3, TiO2, 아연산화물, 기타 등등 |
| 코팅 온도 범위 | 500C (커스텀기즈러블)에 대한 정상 온도 |
| 진공 챔버 사이즈를 코팅하기 | 내경 : 1200 밀리미터, 높이 : 500 밀리미터 (커스텀기즈러블) |
| 진공 챔버 구조 | 고객의 요구조건에 따르면 |
| 배경 진공 | <5> -7mbar |
| 코팅 두께 | ≥0.15nm |
| 두께 조종 정확성 | ±0.1nm |
| 코팅 사이즈 | 200×200mm2 / 400×400mm2 / 1200×1200 mm2, 기타 등등 |
| 막 두께 균일성 | ≤±0.5% |
| 예고와 캐리어 가스 |
트리메틸알루미늄, 사염화 티타늄, 디에틸 징크, 정제수, 질소, 등등 (C3H9Al, TiCl4, C4HZn,H2O,N2, 기타 등등.) |
| 기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. | |
코팅 샘플
처리 과정
→는 진공 챔버 안으로 코팅하기 위한 기판을 위치시킵니다 ;
→는 높고 낮온도에 진공 챔버를 바커우마이즈와, 동시에 기판을 회전시킵니다 ;
→ 시작 코팅 : 기판은 순서에서 그리고 동시 반응 없이 예고와 접촉됩니다 ;
→는 각각 반응 뒤에 고청정도 질소 가스로 그것을 정화합니다 ;
막두께가 표준과 세정의 작동에 달려있는 후 → 정지가 기판을 회전시킵니다고
냉각은 완료되는 후, 진공 쇄파 조건이 충족되는 후에 기판을 포장해 갑니다.
우리의 장점
우리는 제조사입니다.
성숙한 절차.
24 업무 시간 이내에 응답하세요.
우리의 ISO 인증
우리의 특허의 부분
우리의 상의 부분과 R&D의 자격들
2018년에 설립된 ZEIT 그룹은 정밀 광학, 반도체 물질에 집중된 회사고 첨단 정보 장비입니다. 핵심과 화면의 정밀 기계가공에서 우리의 우위를 기반으로, 광 검파와 코팅, ZEIT 그룹은 우리의 고객들에게 주문 제작되고 표준화된 제품 솔루션의 완벽한 패키지를 제공했습니다.
기술 혁신에 집중되어 ZEIT 그룹은 2022년까지 60건 국내 특허 이상을 가지고 있고, 전세계에 연구소, 대학과 산업 공동과 매우 가까운 기업 대학 연구 협력을 확립했습니다. 혁신, 자체 소유 지적재산권과 핵심 프로세스 실험적인 팀을 구축하는 것을 통하여, ZEIT 그룹은 첨단 기술 제품을 배양하기 위한 발전 기지와 최고급 인력들의 트레이닝 베이스가 되었습니다.
우리의 제품은 전 세계적으로 판매됩니다. 당신은 우리 제품의 전체 과정을 안심할 수 있습니다.
