구조적 빛 큰 크기 표면 형상 검출 장비
애플리케이션
램프 리플렉터 형태 검출 ; 웨이퍼 평탄면 탐지 ; 자동차 도료 액면 검출 ; 렌즈 표면 형태 검출.
작업 원칙
디스플레이는 줄무늬 형상에서 구조 빛을 투영하고 카메라가 측정된 것 구조 빛을 모읍니다
떠오르느오 그러면 수집된 종류는 측정된 표면, 점 구름 배급의 변조를 통하여 변형됩니다
그리고 측정된 표면의 곡률 분포는 종류, 그리고 나서 더의 변형에 따라 산정됩니다
표면 형상 에러 분포는 점 구름 분포를 이상적인 모델과 비교함으로써 획득될 수 있습니다.
특징
모델 | SI200-150 |
측정 범위 | 200×150mm2 |
가로 방향 분해능 | 조정할 수 있는 전통적 0.25 밀리미터 |
계측 정밀 | 절대 오차 : ±3μm (지름에서 100mm) |
기록 : 이용 가능한 주문 제작된 생산. |
검출 이미지
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