반도체 산업의 응력 복굴절 검출 장비
애플리케이션
| UV-자외선 | 반도체 |
| 광원 원료 제조업체 |
작동 원리
빛을 비추기 전과 후의 빛의 편광 상태를 비교하여 물질의 복굴절을 평가합니다.
물체를 관통하고 샘플의 응력 복굴절의 크기는 계산 후 결정됩니다.
특징
| 모델 |
SBD-SX-X |
| 작업 모드 | 실시간 측정 |
| 기능 | 응력 크기, 응력 분포 |
| 검출파대 | VIS-520nm, 590nm, 650nm |
| 테스트 범위 | 1~110nm 및 1~280nm |
| 공간 해상도 | 0.05mm |
| 테스트 반복성 | 0.1nm |
| 측정 빈도 | >15FPS |
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참고: 맞춤형 생산이 가능합니다. |
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감지 이미지
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